Deposition
Mahazoa hevitra ary manafaingana ny fizotran'ny fampandrosoana.
Ny Advanced Energy dia manome vahaolana amin'ny famatsiana herinaratra sy fanaraha-maso ho an'ny fampiharana fametahana sarimihetsika manify sy geometrika fitaovana.Mba hamahana ny fanamby amin'ny fanodinana wafer, ny vahaolana amin'ny fiovam-po mahery vaika dia ahafahanao manatsara ny fahamarinan'ny herinaratra, ny fahitsiana, ny hafainganam-pandeha ary ny fiverimberenan'ny fizotrany.
Manolotra fatran'ny RF maro be izahay, rafitra herinaratra DC, haavon'ny famokarana herinaratra namboarina, teknolojia mifanandrify ary vahaolana fanaraha-maso ny mari-pana amin'ny fibre optique izay ahafahanao mifehy tsara kokoa ny plasma.Ampifandraisinay ihany koa ny Fast DAQ ™ sy ny fanangonana angon-drakitra ary ny fidirana amin'ny fidirana mba hanomezana fanazavana momba ny fizotrany sy hanafaingana ny fizotran'ny fampandrosoana.
Mianara bebe kokoa momba ny fizotran'ny famokarana semiconductor mba hahitana ny vahaolana mifanaraka amin'ny filanao.
Ny fanamby anao
Avy amin'ny sarimihetsika ampiasaina amin'ny famolavolana ny refin'ny circuit integrated mankany amin'ny sarimihetsika conductive sy insulative (rafitra elektrika), mankany amin'ny sarimihetsika metaly (fifandraisana), mila fanaraha-maso ny haavon'ny atomika ny fizotranao - tsy ho an'ny endri-javatra tsirairay ihany fa manerana ny wafer manontolo.
Ankoatra ny rafitra, ny sarimihetsika napetrakao dia tsy maintsy manana kalitao avo lenta.Mila manana firafitry ny varimbazaha irina izy ireo, ny fitoviana ary ny hateviny mifanaraka amin'izany, ary tsy misy dikany - ary izany dia ankoatry ny fanomezan-danja ara-mekanika (compressive sy tensile) ary fananana elektrika.
Mitombo ihany ny fahasarotana.Mba hamahana ny fetran'ny lithography (sub-1X nm nodes), ny teknika fanaovana lamina roa sy quadruple mifanitsy amin'ny tena dia mitaky ny fizotry ny fametrahana anao hamokatra sy hamerina ny lamina amin'ny wafer rehetra.
Vahaolanay
Rehefa mametraka ny rindranasa deposition tena manakiana sy ny geometrika fitaovana ianao dia mila mpitarika tsena azo itokisana.
Ny fanaterana herinaratra RF an'ny Advanced Energy sy ny teknolojia mifanandrify haingam-pandeha dia ahafahanao manamboatra sy manatsara ny fahamarinan'ny herinaratra, ny fahitsiana, ny hafainganam-pandeha ary ny fiverimberenan'ny dingana ilaina amin'ny fizotran'ny PECVD sy PEALD mandroso rehetra.
Ampiasao ny teknôlôjia mpamokatra DC mba hanamafisana ny valinteninao arc azo amboarina, ny fahamarinan'ny herinao, ny hafainganana ary ny fiverimberenan'ny fizotry ny fizotran'ny PVD (sputtering) sy ny fizotry ny fametrahana ECD.
soa
● Ny fahamarinan'ny plasma sy ny fiverimberenan'ny dingana dia mampitombo ny vokatra
● Ny fandefasana RF sy DC mazava tsara miaraka amin'ny fanaraha-maso nomerika feno dia manampy amin'ny fanatsarana ny fahombiazan'ny dingana
● Famaliana haingana ny fiovan'ny plasma sy ny fitantanana arc
● Manatsara ny fifantenana ny hafainganam-pandehan'ny etch
● Fanohanana maneran-tany azo antoka mba hiantohana ny fotoana ambony indrindra sy ny fahombiazan'ny vokatra